手套箱故障分析

一、手套箱不斷抽真空

1. 過渡艙艙門未關(guān)嚴(yán)；

2. 腳踏是否被東西壓住；

3. 電磁閥塊上<凈化柱抽氣閥>是否被雜質(zhì)卡住；

4. 電磁閥塊上<箱體抽氣閥>是否被雜質(zhì)卡住。

二、手套箱用氣量增大

1. 在從工作氣氣源到設(shè)備的管路有泄漏，氣源處鋼瓶口漏氣、閥塊上進(jìn)氣管接口漏氣；

2. 高真空擋板閥氣體泄漏；

3. 高真空擋板閥的壓力管出現(xiàn)漏氣，依次檢查。

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手套箱的核心技術(shù)是什么

手套箱是一個要把箱體內(nèi)的氣氛與空氣完全隔絕的系統(tǒng)。箱體外空氣中氧氣的含量大于20％或 200000 PPM（百萬分之一），而箱體內(nèi)的氧氣含量小于1PPM，手套箱內(nèi)外氧氣濃度相差近一百萬倍，微小量的空氣泄漏入手套箱，將對手套箱內(nèi)的氧含量造成很大的 影響。因此，密封對手套箱是至關(guān)重要的，是手套箱核心的技術(shù)。2、人機(jī)對話：配置彩色觸摸屏，中文界面，實(shí)現(xiàn)人機(jī)對話，操作便捷3、自動控制（由彩色觸摸屏的人機(jī)界面和PLC程序控制系統(tǒng)集成對系統(tǒng)進(jìn)行控制）實(shí)現(xiàn)功能：手/自動控制箱體壓力。

手套箱上有很多連接處和橡膠手套，少量空氣泄漏入手套箱內(nèi)是在所難免的。另外，在使用手套箱時，轉(zhuǎn)移入手套箱的物料也不可避免要帶入少量水和氧。還有，手套箱使用的工作氣中也含有幾個甚至幾十個PPM的水氧。所有這些雜質(zhì)，都是氣體凈化系統(tǒng)循環(huán)同時除去的。箱體及大小過渡艙使用304不銹鋼板，前視窗為鋼化玻璃，耐磨防腐蝕。

由此可見，手套箱的核心技術(shù)是密封和氣體純化效率。

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真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機(jī)薄膜和金屬電極，薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機(jī)真空腔室中設(shè)有多個放置有機(jī)材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機(jī) 材料；將化學(xué)實(shí)驗(yàn)中產(chǎn)生的污染氣體進(jìn)行凈化后再排至下水道中，克服了以往通風(fēng)裝置只通風(fēng)不凈化的弊病，避免了大氣環(huán)境的污染。在金屬真空腔室中設(shè)有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。